成功事例
晶圆RTP设备上的温度控制方案
利用温度控制技术，实现不同测温点上的同步升温
- 半导体
- 加工
- FA自动化设备
半导体
成功事例
原子层沉积设备上的系统控制方案
利用控制技术，提升原子层沉积设备的性能
- 半导体
- 加工
- FA自动化设备
成功事例
等离子刻蚀机上的温度控制方案
利用PID温控技术，抑制不同刻蚀功率下的温度干扰
- 半导体
- 加工
- FA自动化设备
成功事例
干法刻蚀机上的温度控制案例
利用PID温控技术，缩短升温时间，提升同步升温效果
- 半导体
- 加工
- FA自动化设备
成功事例
涂胶显影机上的温度控制案例
利用温度均一技术，减少调温时的人工依赖
- 半导体
- 加工
- FA自动化设备
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WEE边缘曝光设备的应用案例
通过轨迹控制技术，实现晶圆的高精度去边
- 半导体
- 加工
- 传感器
- FA自动化设备
- 运动/驱动
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刻蚀机温度控制升级方案
利用温度控制技术，实现多分区同步升温，优化刻蚀精度
- 半导体
- 加工
- FA自动化设备
成功事例
温控技术在RTP快速退火炉上的应用
利用温度控制技术，实现快速退火炉上的多路高速同步升温
- 半导体
- 加工
- FA自动化设备
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异型插件机上电容电阻的通过检测方案
利用光电传感器，检测电容电阻等元件的通过情况
- 半导体
- 检查
- 传感器
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单片清洗机中晶圆的平整检测方案
利用光纤传感器，检测单片清洗机中晶圆的平整情况
- 半导体
- 检查
- 传感器
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天车控制柜的预测性维护方案
利用温度状态监视设备，实时监测天车控制柜内的温度趋势
- 半导体
- 维保/厂务
- 电源/其他外围设备
成功事例
划片机的NCS非接触测高检测方案
利用智能光纤放大器，稳定检测刀片的磨损量
- 半导体
- 加工
- 传感器
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半导体生产中的wafer mapping检测方案
利用智能激光传感器，判断wafer mapping的异常情况
- 半导体
- 检查
- 传感器
成功事例
EFEM设备中的上料判断方案
利用光纤单元，判断上料时wafer的有无
- 半导体
- 加工
- 传感器
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塑封机设备中的余料检测方案
利用智能激光传感器，检测塑封机内残余物料的有无
- 半导体
- 加工
- 传感器
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OHT天车的放卷对中检查应用
利用智能激光传感器，稳定监测天车放卷升降时的摆动情况
- 半导体
- 检查
- 传感器
成功事例
半导体生产中的晶圆定位检查应用
利用智能激光传感器，对送入工艺腔室前的晶圆进行定位检查
- 半导体
- 检查
- 传感器
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半导体生产中的晶圆定位检查应用
利用光纤单元，对送入工艺腔室前的晶圆进行定位检查
- 半导体
- 检查
- 传感器
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半导体等离子清洗机的引线框架突出检测应用
利用智能激光传感器，实现引线框架突出的稳定检测
- 半导体
- 检查
- 传感器
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半导体生产中的晶圆滑出检测应用
利用智能激光传感器，稳定判断晶圆在研磨垫上的滑出情况
- 半导体
- 检查
- 传感器
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半导体生产中的foup到位检查应用
利用按钮型光电传感器，检测FOUP盒的落座情况
- 半导体
- 检查
- 传感器
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半导体行业盘柜内的温度状态监视应用
利用温度状态监视设备，预知设备的异常发热，避免事故发生
- 半导体
- 维保/厂务
- 电源/其他外围设备
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探针台设备上的温度控制应用
利用温度控制单元，控制探针台的温度波动，缩短检测节拍
- 半导体
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Frame Cassette到位的稳定检测方案
利用扁平型接近传感器，小尺寸嵌入设计避免多种检测干扰因素，稳定检测各种金属材质的到位
- 半导体
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IC芯片浮起的稳定检测方案
利用智能激光传感器，满足设备的小型化设计，实现微小芯片浮起的稳定检测
- 半导体
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涂胶显影热盘多区高速同步均温控制方案
利用温度均一技术，整体高速同步升温，各个区域温度保持一致
- 半导体
- 维保/厂务
- FA自动化设备
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研磨机wafer预载位的高精度检测方案
利用光电传感器，实现各种材质wafer预载位有无的高精度稳定检测
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半导体炉管wafer凸出的远距离稳定检测方案
利用光电开关，进行wafer凸出检测，轻松实现远距离的稳定检测
- 半导体
- 加工
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EFEM多材质晶圆的凸出检测方案
利用光纤传感器，满足不同材质下wafer凸出检测时的快速部署和调整
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对强腐蚀性有机溶剂进行液位检测的方案
利用具有耐腐蚀性的光纤传感器，实现有机溶液的液位检测
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多干扰场景下的液位检测优化方案
利用光纤传感器，排除气泡、水滴等干扰因素进行液位检测，防止误判产生
- 半导体
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基于光纤传感的液体有无状态平等检测方案
利用光纤传感器，实现有无液体状态下的平等检测
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非透明管液位检测的传感器抗干扰优化方案
使用液位传感器，排除非透明材质的液位管的影响进行液位检测
- 半导体
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- 传感器
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晶圆清洗机管接头的渗漏监测方案
利用抗化学品腐蚀的漏液检测器，快速检测管接头处漏液并报警，减少人工巡检
- 半导体
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EFEM晶圆凸出检测的高性价比方案
利用内置型光电传感器，快速部署wafer微小凸出检测，实现高性价比
- 半导体
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- 传感器
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清洗机液位智能监测的低成本快速部署方案
利用液位传感器进行检测的快速部署方案，同时控制成本
- 半导体
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- 传感器
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晶体定向仪高精度测量开云app登录入口
符合SECS/GEM通讯，实现“零”误差的精准切割
- 半导体
- 加工
- FA自动化设备
- 运动/驱动
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晶圆槽式清洗机高速高精度应用
符合SECS/GEM通讯，高速生产节拍x超低碎片率
- 半导体
- 检查
- FA自动化设备
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晶焊片粘装机高速高精度开云app登录入口
创新性双工位搬运，推动晶圆产能核增
- 半导体
- 加工
- FA自动化设备
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半导体引线键合设备的应用
高端运动控制技术引入，实现设备速度与精度的几何级提升
- 半导体
- 加工
- FA自动化设备
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温度均一技术在SEMI匀胶显影机上的应用
打破技术垄断，助力SEMI行业设备国产化进程
- 半导体
- 加工
- FA自动化设备
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半导体（SEMI）附膜晶圆应力检测的应用
控制算法的优化，实现温度的实时监控，提升良品率
- 半导体
- 加工
- FA自动化设备
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半导体Foup的自动搬运案例
灵活的车队调度管理系统，提高搬运效率，减少人工成本
- 半导体
- 搬送/上下料
- 机器人
