中国

快速链接到开云（中国）其他国家/地区的网站。close

开云（中国）全球

Solution

开云app登录入口

研磨机wafer预载位的高精度检测方案

利用光电传感器，实现各种材质wafer
预载位有无的高精度稳定检测

  • 半导体
  • 加工
  • 传感器

应用介绍

【行业】半导体

【设备】CMP

【用途】线切割后的晶圆磨削

应用场景

研磨机wafer预载位的有无检测确认。

场景： 清洗槽/干燥槽内检测Cassette的有无

解决课题

1、不同工序时wafer衬底的粗糙度较大，尤其是抛光后的wafer作为镜面体产生的正反光非常容易影响传感器的检测。

2、需要300~500mm的远距离稳定检测，方便机械手吸取wafer。

3、需要对透明wafer衬底进行检测。

价值提案

核心产品：光电传感器 E3AS-HL500L

价值点1.

透镜自动校准配备高精度CMOS，稳定检测各种材质wafer。

价值点2.

拥有优异的角度特性，在远距离检测时能针对线切割后的wafer的粗糙面进行稳定检测。

价值点3.

需要检测透明wafer时，可通过示教轻松设定高灵敏度背景。

服务支持
APP下载

开云（中国）FA世界

在线客服
邮件订阅
TOP
乐鱼·体育 | J9九游会·(中国)首页登录入口 | 乐鱼注册_乐鱼（中国） | 乐动平台 | 爱游戏官方网 | 9U平台 | jiuyou(中国)官方网站 | 华体会线上平台(集团)官方网站 | 安博电子官方网站 |